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J-GLOBAL ID：200902175083083707   Reference number：02A0153431

Preparation of Transparent Conductive RuO₂ Thin Film from its Precursor Solution.

前駆体溶液からの透明導電性RuO₂薄膜の作製

Author (4)： HARA Y (Toyama Univ., Toyama, JPN) ,  RENGAKUJI S (Toyama Univ., Toyama, JPN) ,  NAKAMURA Y (Toyama Univ., Toyama, JPN) ,  SHINAGAWA A (Japan Carlit Co., Ltd., Shibukawa, JPN)
Material： 電気化学および工業物理化学  (Electrochemistry)
Volume： 70  Issue： 1  Page： 13-17  Publication year： Jan. 05, 2002 
JST Material Number： G0072A  ISSN： 1344-3542  CODEN： EECTFA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： functional material ,...

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JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Reference (18)：

• 1) Y. Sawada, Developments of Transparent Conductive Films, CMC Co., Ltd., p.154 (1999) (in Japanese).
• 2) M. Guglielmi, P. Colombo, and V. Rigato, J. Electrochem. Soc., 139, 1655 (1992).
• 3) K. Adachi, Jpn. Patent Open, No.8-143337 (1996).
• 4) H. Maiwa, N. Ichinose, and K. Okazaki, Jpn. J. Appl. Phys., 33 (1994), pp. 5223-5226, Pt.l, No.9 B.
• 5) D. Barreca, A. Buchberger, S. Daolio, L. E. Depero, M. Fabrizio, F. Morandini, G. A. Rizzi, L. Sangaletti, and E. Tondello, Langmuir, 15, 4537 (1999).

Terms in the title (5)： 前駆体 ,  溶液 ,  導電性 ,  薄膜 ,  作製