Art

J-GLOBAL ID：200902176126633214   Reference number：02A0772502

Phase composition of sputtered films from a hydroxyapatite target.

ヒドロキシアパタイトターゲットからスパッタした膜の相組成

Author (4)： OZEKI K (Tokyo Denki Univ., Saitama, JPN) ,  YUHTA T (Tokyo Denki Univ., Saitama, JPN) ,  FUKUI Y (Tokyo Denki Univ., Saitama, JPN) ,  AOKI H (Tokyo Denki Univ., Saitama, JPN)
Material： Surface & Coatings Technology  (Surf Coat Technol)
Volume： 160  Issue： 1  Page： 54-61  Publication year： Oct. 01, 2002 
JST Material Number： D0205C  ISSN： 0257-8972  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *hydroxyapatite ,...
Semi thesaurus term： pyrophosphate

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JST classification (2)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Manufacturing of ceramics and ceramic whiteware  (YC03020V)

Terms in the title (2)： スパッタ ,  相組成