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J-GLOBAL ID：200902177439578717   Reference number：02A0889907

Contactless measurement of electrical conductivity of semiconductor wafers using the reflection of millimeter waves.

ミリ波反射を用いる半導体ウエハの電気伝導率の非接触測定

Author (4)： JU Y (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  INOUE K (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  SAKA M (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  ABE H (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
Material： Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)
Volume： 81  Issue： 19  Page： 3585-3587  Publication year： Nov. 04, 2002 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *EHF wave ,...

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JST classification (2)： Electric conduction in crystalline semiconductors  (BM03043X) ,  Electromagnetism in general  (BD01020N)

Terms in the title (4)： ミリ波 ,  半導体ウエハ ,  電気伝導率 ,  非接触測定