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J-GLOBAL ID：200902177975419672   Reference number：99A0646936

Defects caused by high-energy ion beams, as measured by scanning probe methods.

走査型プローブ法によって測定された、高エネルギーイオンビームに起因する欠陥

Author (4)： BIRO L P (Res. Inst. Technical Physics and Materials Sci., Hungarian Acad. Sci., Budapest, HUN) ,  GYULAI J (Res. Inst. Technical Physics and Materials Sci., Hungarian Acad. Sci., Budapest, HUN) ,  MARK G I (Res. Inst. Technical Physics and Materials Sci., Hungarian Acad. Sci., Budapest, HUN) ,  DAROCZI C S (Res. Inst. Technical Physics and Materials Sci., Hungarian Acad. Sci., Budapest, HUN)
Material： Micron
Volume： 30  Issue： 3  Page： 245-254  Publication year： Jun. 1999 
JST Material Number： E0318E  ISSN： 0968-4328  Document type： Article
Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (6)： 走査型 ,  プローブ ,  高エネルギーイオン ,  ビーム ,  起因 ,  欠陥