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J-GLOBAL ID：200902179968379765   Reference number：02A0191233

Wavelength Scanning Gauge Block Interferometer Using a Spatial Light Modulator.

空間光変調器を利用した波長走査ゲージブロック干渉計

Author (2)： BITOU Y (National Res. Lab. Metrology, Tsukuba, JPN) ,  SETA K (National Res. Lab. Metrology, Tsukuba, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 41  Issue： 1  Page： 384-388  Publication year： Jan. 15, 2002 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *spatial light modulator ,...

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JST classification (1)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O)

Reference (12)：

• 1) B. G. Vaucher, R. Thalmann and H. Baechler: Metrologia 32 (1995) 79.
• 2) N. Brown, T. B. Eom, E. Howick, O. Kruger, Y. Lan, S. L. Ling-Tan, H. Matsumoto, J. Pusaka, R. P. Singhal and Y. Xu: Metrologia 33 (1996) 61.
• 3) K. Creath: Progress in Optics, ed. E. Wolf (Elsevier, Amsterdam, 1990) Vol. 27, p. 273.
• 4) Y. Bitou and K. Seta: Jpn. J. Appl. Phys. 39 (2000) 6084.
• 5) H. Kikuta, K. Iwata and R. Nagata: Appl. Opt. 25 (1986) 2976.

Terms in the title (5)： 空間光変調器 ,  波長 ,  走査 ,  ゲージ ,  干渉計