Art

J-GLOBAL ID：200902180808478781   Reference number：00A0433926

A High-Performance Planar Piezoresistive Accelerometer.

高性能平面ピエゾ抵抗加速度計

Author (8)： PARTRIDGE A (Stanford Univ., CA, USA) ,  KURTH REYNOLDS J (Stanford Univ., CA, USA) ,  CHUI B W (LightConnect Inc., CA, USA) ,  CHOW E M (Stanford Univ., CA, USA) ,  FITZGERALD A M (Stanford Univ., CA, USA) ,  ZHANG L (Stanford Univ., CA, USA) ,  MALUF N I (Lucas NovaSensor, CA, USA) ,  KENNY T W (Stanford Univ., CA, USA)
Material： Journal of Microelectromechanical Systems  (J Microelectromechanical Syst)
Volume： 9  Issue： 1  Page： 58-66  Publication year： Mar. 2000 
JST Material Number： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *piezoresistance effect ,...

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JST classification (2)： Measuring methods and instruments of time,speed,acceleration,angular veloc?  (AD05040K) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (3)： 高性能 ,  ピエゾ抵抗 ,  加速度計