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J-GLOBAL ID：200902181287571220   Reference number：01A0267900

The study of fabrication of the x-ray mirror by numerically controlled plasma chemical vaporization machining: Development of the machine for the x-ray mirror fabrication.

数値制御プラズマ化学蒸発加工によるX線ミラーの作製 X線ミラー作製用機械の開発

Author (3)： MORI Y (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  YAMAMURA K (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  SANO Y (Osaka Univ., Osaka, JPN)
Material： Review of Scientific Instruments  (Rev Sci Instrum)
Volume： 71  Issue： 12  Page： 4620-4626  Publication year： Dec. 2000 
JST Material Number： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *X-ray source ,...
Semi thesaurus term： プラズマ化学蒸発加工

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JST classification (2)： X-ray instruments and techniques  (BA02060D) ,  Optical instrument elements and their materials  (QF05020K)

Terms in the title (6)： 数値制御 ,  プラズマ化学 ,  蒸発 ,  X線ミラー ,  作製 ,  開発