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J-GLOBAL ID：200902181554222109   Reference number：99A0421447

金属・半導体と水酸イオンの電気化学反応及び超純水による加工への応用 (第2報)

Author (5)： MORI YUZO (大阪大 大学院) ,  GOTO HIDEKAZU (大阪大 大学院) ,  HIROSE KIKUHARU (大阪大 大学院) ,  KOBATA TOSHITAKA (大阪大 大学院) ,  TOUMA YASUSHI (荏原製作所)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 1999  Issue： 春季  Page： 421  Publication year： Mar. 05, 1999 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Reference (4)：

• 森. 1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 443
• 広瀬. 精密工学会誌. 1994, 60,8, 1139-1143
• GOTO, H. Transactions of the Materials Research of Japan. 1996, 20, 871-874
• 広瀬. 精密工学会1998年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 17-18

Terms in the title (4)： 水酸イオン ,  電気化学反応 ,  純水 ,  応用