Art

J-GLOBAL ID：200902181948529501   Reference number：99A0935973

Electron Energy Control in Inductively Coupled Plasma Employing Multimode Antenna.

多モードアンテナを用いた誘導結合プラズマにおける電子エネルギーの制御

Author (5)： SHINDO H (Tokai Univ., Hiratsuka, JPN) ,  URAYAMA T (Tokai Univ., Hiratsuka, JPN) ,  FUJII T (Tokai Univ., Hiratsuka, JPN) ,  HORIIKE Y (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  FUJII S (ADTEC Co., Ltd., Fukuyama, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters & Express Letters)
Volume： 38  Issue： 9A/B  Page： L1066-L1069  Publication year： Sep. 15, 1999 
JST Material Number： F0599B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： inductively coupled plasma ,...
Semi thesaurus term： pressure dependence

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JST classification (1)： Plasma devices  (BJ02082I)

Reference (11)：

• 1) Y. Horiike, H. Okano, T. Yamazaki and H. Horie: Jpn. J. Appl. Phys. 20 (1981) L819.
• 2) K. Suzuki, S. Okudaira, N. Sakudo and I. Kanomata: Jpn. J. Appl. Phys. 16 (1977) 1979.
• 3) A. J. Perry, D. Vender and W. Boswell: J. Vac. Sci. & Technol. B 9 (1991) 310.
• 4) J. Hopwood, C. R. Guarnieri, S. J. Whitehair and J. J. Cuomo: J. Vac. Sci. & Technol. A 11 (1993) 147.
• 5) T. Uchida: Jpn. J. Appl. Phys. 33 (1994) L43.

Terms in the title (4)： 多モード ,  アンテナ ,  誘導結合プラズマ ,  電子エネルギー