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J-GLOBAL ID：200902182350650299   Reference number：01A0990435

Thermal plasma deposition of nanophase hard coatings.

ナノ相硬質皮膜の熱プラズマ蒸着

Author (9)： HEBERLEIN J (Univ. Minnesota, MN, USA) ,  POSTEL O (Stanford Univ., CA, USA) ,  GIRSHICK S (Univ. Minnesota, MN, USA) ,  MCMURRY P (Univ. Minnesota, MN, USA) ,  GERBERICH W (Univ. Minnesota, MN, USA) ,  IORDANOGLOU D (Univ. Minnesota, MN, USA) ,  DI FONZO F (Univ. Minnesota, MN, USA) ,  NEUMANN D (Univ. Minnesota, MN, USA) ,  TYMIAK N (Univ. Minnesota, MN, USA)
Material： Surface & Coatings Technology  (Surf Coat Technol)
Volume： 142/144  Page： 265-271  Publication year： Jul. 2001 
JST Material Number： D0205C  ISSN： 0257-8972  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *physical vapor deposition ,...
Semi thesaurus term： plasma deposition

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JST classification (1)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Terms in the title (3)： 硬質皮膜 ,  熱プラズマ ,  蒸着