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J-GLOBAL ID：200902182799591726   Reference number：97A0429162

Propagation speed of an electrostatic S-shaped film actuator related to environmental gas pressure conditions.

S字型静電駆動フィルムアクチュエータの動作特性 雰囲気圧力がフィルム移動速度に及ぼす影響

Author (4)： SHIKIDA MITSUHIRO (名古屋大 工) ,  SATO KAZUO (名古屋大 工) ,  TAKESHITA KENGO (名古屋大 工) ,  SUZUKI SEIKO (日立 日立研)
Material： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
Volume： 116  Issue： 9  Page： 395-401  Publication year： Nov. 1996 
JST Material Number： L3098A  ISSN： 1341-8939  Document type： Article
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Reference (19)：

• (1) T. Ohnstein, T. Fukiura, J. Ridley, and U. Bonne: "Micromachined Silicon Microvalve", Proc. of IEEE MEMS., 95-98 (1990)
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Terms in the title (7)： 字 ,  静電駆動 ,  フィルム ,  アクチュエータ ,  動作特性 ,  雰囲気圧力 ,  移動速度