Art

J-GLOBAL ID：200902183285756870   Reference number：99A0616552

High efficiency fine boring of monocrystalline silicon ingot by electrical discharge machining.

放電加工による単結晶シリコンインゴットの高能率精密中ぐり

Author (6)： UNO Y (Okayama Univ., Okayama, JPN) ,  OKADA A (Okayama Univ., Okayama, JPN) ,  OKAMOTO Y (Okayama Univ., Okayama, JPN) ,  YAMAZAKI K (Univ. California at Davis, CA, USA) ,  RISBUD S H (Univ. California at Davis, CA, USA) ,  YAMADA Y (KASEN USA Corp., NC, USA)
Material： Precision Engineering  (Precis Eng)
Volume： 23  Issue： 2  Page： 126-133  Publication year： Apr. 1999 
JST Material Number： A0734B  ISSN： 0141-6359  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *EDM ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=99A0616552&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=A0734B") }}

JST classification (2)： Special machining  (QC04000Y) ,  Materials of solid-state devices  (NC03020K)

Terms in the title (5)： 放電加工 ,  単結晶シリコン ,  インゴット ,  高能率 ,  中ぐり