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J-GLOBAL ID：200902183408873206   Reference number：98A0343169

Low-temperature growth and orientational control in RuO₂ thin films by metal-organic chemical vapor deposition.

有機金属化学蒸着によるRuO₂薄膜の低温成長と配向制御

Author (4)： BAI G-R (Argonne National Lab., IL, USA) ,  WANG A (Argonne National Lab., IL, USA) ,  FOSTER C M (Argonne National Lab., IL, USA) ,  VETRONE J (Argonne National Lab., IL, USA)
Material： Thin Solid Films
Volume： 310  Issue： 1/2  Page： 75-80  Publication year： Nov. 21, 1997 
JST Material Number： B0899A  ISSN： 0040-6090  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *ruthenium oxide ,...

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JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (4)： 有機金属化学蒸着 ,  薄膜 ,  低温成長 ,  配向制御