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J-GLOBAL ID：200902183769401341   Reference number：03A0060900

赤外線による非接触温度センサの開発に関する研究 スパッタリングによるセンサ薄膜の形成とその評価

Author (4)： MANO TSUYOSHI (静岡県富士工技セ) ,  SUGIYAMA OSAMU (静岡県富士工技セ) ,  IINO SHU (静岡県富士工技セ) ,  SHIBUYA YOSHIO (静岡県富士工技セ)
Material： 静岡県富士工業技術センター報告  (Reports of the Fuji Industrial Research Institute of Shizuoka Prefecture)
Issue： 12  Page： 42-43  Publication year： Dec. 2002 
JST Material Number： S0682B  ISSN： 0918-1687  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *nickel oxide ,...
Semi thesaurus term： 非接触温度センサ

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JST classification (2)： Thermoelectric devices  (NC03090J) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (8)： 赤外線 ,  非接触 ,  温度センサ ,  開発 ,  研究 ,  スパッタリング ,  薄膜 ,  評価