Art

J-GLOBAL ID：200902185278673059   Reference number：98A0285540

Diamond Films Synthesized by DC Plasma CVD with a Diamond Cathode.

陰極にダイヤモンドを用いた直流プラズマCVD法によるダイヤモンド薄膜の合成

Author (4)： HIROSAWA SAKURA (東海大 工) ,  ABE MASAAKI (東海大 工) ,  YAMANAKA HIROSHI (トーメイダイヤ) ,  HIROSE YOICHI (東海大 工)
Material： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
Volume： 49  Issue： 1  Page： 94-95  Publication year： Jan. 1998 
JST Material Number： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *Diamond ,...
Semi thesaurus term： methanol

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JST classification (3)： Carbon and its compounds  (YB02060D) ,  Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Synthetic minerals  (CD01040K)

Reference (6)：

• DAVIS, Robert F. DIAMOND FILMS AND COATINGS. 1993, Chapter 4, p. 147
• IHARA, M. Appl. Phys. Lett. 1991, 59, 1473
• HIROSE, Y. Diamond Films and Technology. 1991, 1, 2, 85
• 八田章光. 電学論A. 1997, 117, 3, 233
• YOSHIKAWA, M. Appl. Phys. Lett. 1989, 55, 2608

Terms in the title (5)： 陰極 ,  ダイヤモンド ,  直流 ,  プラズマCVD法 ,  ダイヤモンド薄膜