Art

J-GLOBAL ID：200902187154438623   Reference number：02A0249576

A Peristaltic Motion Channel-Type Micro Pump with Bimorph-Type PZT Elements Allay. Fabrication of Single Side-Type.

バイモルフ形PZT素子アレイを用いた薄形ぜん動管路形マイクロポンプ 片面駆動形の試作

Author (3)： KONDO YUTAKA (東京工大 精密工研) ,  DING X (東京工大 大学院) ,  YOKOTA SHIN'ICHI (東京工大 精密工研)
Material： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
Volume： 68  Issue： 666  Page： 643-649  Publication year： Feb. 25, 2002 
JST Material Number： F0045B  ISSN： 0387-5024  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *positive displacement pump ,...
Semi thesaurus term： PZT

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=02A0249576&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0045B") }}

JST classification (1)： Pumps,various pumping equipment  (QD05030P)

Reference (8)：

• 朴重濠. 共振駆動を用いた高パワー密度の圧電マイクロポンプ. 機論C. 1999, 65, 631, 1071-1077
• 成瀬好廣. ぜん動運動形マイクロポンプ. 機誌. 2000, 103, 984, 22-24
• 小島吉夫. 圧電素子応用微量液送ポンプの基礎検討. 機論C. 1992, 58, 556, 3511-3516
• SMITS, Jan G. Piezoelectric Micropump with Three Valves Working Peristaltically. Sensors and Actuators. 1990, A21-A23, 203-206
• BENARD, William L. Thin-Film Shape-Memory Alloy Actuated Micropumps. Journal of Microelectromechanical Systems. 1998, 7, 2, 245-251

Terms in the title (9)： バイモルフ ,  PZT ,  素子アレイ ,  薄形 ,  ぜん動 ,  管路 ,  マイクロポンプ ,  片面 ,  試作