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J-GLOBAL ID：200902187383511059   Reference number：00A0060713

Formation and mesostructure control of self-organized silica thin film by spin coating method.

スピンコーティング法による自己組織化シリカ薄膜の形成とメソ構造制御

Author (6)： ENDO AKIRA (物質工学工技研) ,  NAKAIWA MASARU (物質工学工技研) ,  AKIYA TAKAJI (物質工学工技研) ,  OWA MASARU (物質工学工技研) ,  FUJIWARA ICHIRO (物質工学工技研) ,  NAKANE TAKASHI (物質工学工技研)
Material： 日本産業技術振興協会技術資料
Issue： 288  Page： 158-159  Publication year： Oct. 22, 1999 
JST Material Number： Z0850A  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *spin coating ,...
Semi thesaurus term： *silica

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JST classification (2)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Adsorbents  (YB03000W)

Substance index (2)： Tetraethoxysilane ,  Cetyltrimethylammonium

Terms in the title (5)： スピンコーティング法 ,  自己組織化 ,  シリカ ,  薄膜 ,  メソ構造