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J-GLOBAL ID：200902187958398462   Reference number：99A0751866

Polysilicon thin film transistors fabricated on low temperature plastic substrates.

低温のプラスチック基板上に作製したポリシリコン薄膜トランジスタ

Author (4)： CAREY P G (Lawrence Livermore National Lab., California) ,  SMITH P M (Lawrence Livermore National Lab., California) ,  THEISS S D (Lawrence Livermore National Lab., California) ,  WICKBOLDT P (Lawrence Livermore National Lab., California)
Material： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science and Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films)
Volume： 17  Issue： 4,Pt.2  Page： 1946-1949  Publication year： Jul. 1999 
JST Material Number： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *silicon ,...
Semi thesaurus term： cluster tool

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JST classification (1)： Transistors  (NC03070N)

Terms in the title (5)： 低温 ,  プラスチック基板 ,  作製 ,  ポリシリコン ,  薄膜トランジスタ