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J-GLOBAL ID：200902189430218090   Reference number：94A0780196

Automated Determination of CAD Layout Failures Through Focus: Experiment and Simulation.

Author (5)： SPENCE C (Advanced Micro Devices, CA) ,  NISTLER J (Advanced Micro Devices, CA) ,  BAROUCH E (Princeton Univ., NJ) ,  HELLERBACH U (Princeton Univ., NJ) ,  ORSZAG S (Princeton Univ., NJ)
Material： Proceedings of SPIE  (Proceedings. SPIE - The International Society for Optical Engineering)
Volume： 2197  Page： 302-313  Publication year： 1994 
JST Material Number： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  Document type： Proceedings
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (1)： CAD