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J-GLOBAL ID：200902191680344525   Reference number：00A0139507

Development of a Compact Single Ion Microprobe.

小型シングルイオンマイクロプローブの開発

Author (4)： TANAKA T (Osaka Univ.) ,  SATO F (Osaka Univ.) ,  TANIMURA Y (Osaka Univ.) ,  IIDA T (Osaka Univ.)
Material： Journal of Nuclear Science and Technology  (日本原子力学会英文論文誌)
Volume： 37  Issue： 1  Page： 1-8  Publication year： Jan. 25, 2000 
JST Material Number： G0317A  ISSN： 0022-3131  CODEN： JNSTAX  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *ion probe ,...
Semi thesaurus term： シングルイオンマイクロプローブ

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JST classification (1)： Plasma diagnostics  (BJ02090L)

Reference (14)：

• Legge, G. J. F. Nucl. Instrum, Methods. 1997, B130, 9
• Traxel, K. Nucl. Instrum. Methods. 1988, B268, 567
• Levi Setti. Nucl. Instrum, Methods. 1980, 168, 139
• Tanaka, R. Nucl. Instrum. Methods. 1993, B79, 432
• Fischer, B. E. Nucl. Instrum. Methods. 1988, B30, 284

Terms in the title (2)： イオンマイクロプローブ ,  開発