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J-GLOBAL ID：200902191716662847   Reference number：95A0289359

Mechanical properties of thin films. Hardness and Elasticity Measurement of Thin Films with Nanoindenter.

ナノインデンターによる薄膜の硬度,弾性の測定法

Author (1)： YANAGISAWA MASAHIRO (NEC 機能エレクトロニクス研)
Material： トライボロジスト  (Journal of Japanese Society of Tribologists)
Volume： 40  Issue： 3  Page： 199-204  Publication year： Mar. 1995 
JST Material Number： F0390A  ISSN： 0915-1168  CODEN： TORAEO  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： indenter ,...

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JST classification (1)： Material testing  (HB02020U)

Reference (7)：

• NISHIBORI, M. Japan. J. Appl. Phys. 1972, 11, 758
• NEWAY, D. J. Phys. E. Sci. Instrum. 1982, 15, 119
• WIERENGA, P. E. J. Appl. Phys. 1984, 55, 4244
• 金沢憲一. 理研シンポジウム,新しい表面の創成と特性評価(第1回). 1984, 33
• YANAGISAWA, M. Lubrication Engineering. 1987, 43,1, 52

Terms in the title (5)： インデンター ,  薄膜 ,  硬度 ,  弾性 ,  測定法