Art

J-GLOBAL ID：200902193315457640   Reference number：98A0566718

Properties of YSZ Thin Films for SOFC Grown by Sputtering.

スパッタリング法による燃料電池用固体電解質薄膜の特性

Author (5)： NAGATA AKIYOSHI (大阪工大 工) ,  MIMURA TAKANOBU (大阪工大 工) ,  OKADA KOHEI (大阪工大 工) ,  OKAYAMA HIDEO (大阪工大 工) ,  ISA HIROMU (大阪工大 工)
Material： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
Volume： 41  Issue： 3  Page： 190-193  Publication year： Mar. 1998 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *zirconium oxide ,...
Semi thesaurus term： solid fuel cell

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JST classification (2)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Fuel cells  (YB04040V)

Reference (3)：

• 燃料電池発電システム編集委員会編. 燃料電池発電システム
• 岡山. 真空. 1997, 40, 4, 372-376
• 三村. 平成9年電気学会全国大会講演論文集. 1997, 2-295

Terms in the title (4)： スパッタリング法 ,  燃料電池 ,  固体電解質 ,  薄膜