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J-GLOBAL ID：200902158393320952   Reference number：97A0598336

Properties of Sputtered Zirconia Thin Films for SOFCs.

スパッタリング法による燃料電池用固体電解質薄膜の特性

Author (5)： OKAYAMA HIDEO (大阪工大 工) ,  KONISHI NAGAYOSHI (大阪工大 工) ,  MIMURA TAKANOBU (大阪工大 工) ,  NAGATA AKIYOSHI (大阪工大 工) ,  ISA HIROMU (大阪工大 工)
Material： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
Volume： 40  Issue： 4  Page： 372-376  Publication year： Apr. 1997 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *zirconium oxide ,...
Semi thesaurus term： solid fuel cell

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JST classification (2)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Fuel cells  (YB04040V)

Reference (5)：

• 燃料電池発電システム編集委員会. 燃料電池発電システム. 1993, 2-10
• 吉澤四郎. 燃料電池と電力貯蔵システム. 1985, 77-81
• 岡山. 高周波スパッタリング法による燃料電池用薄膜固体電解質の作製. 真空. 1995, 38, 9, 834
• 小西. 高周波スパッタリング法による燃料電池用薄膜固体電解質の作製. 平成7年電気学会関西支部連合大会 講演論文集. 1995, G205
• 小西. スパッタリング法による燃料電池用薄膜固体電解質の作製. 真空に関する連合講演会 講演予稿集. 1996, 31Da-1

Terms in the title (4)： スパッタリング法 ,  燃料電池 ,  固体電解質 ,  薄膜