Art

J-GLOBAL ID：200902193929494070   Reference number：00A0154702

Self-ordered pore structure of anodized aluminum on silicon and pattern transfer.

けい素上の陽極処理したアルミニウムの自己秩序化した孔構造とパターン移動

Author (4)： CROUSE D (Cornell Univ., New York) ,  LO Y-H (Cornell Univ., New York) ,  MILLER A E (Univ. Notre Dame, Indiana) ,  CROUSE M (Univ. Notre Dame, Indiana)
Material： Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)
Volume： 76  Issue： 1  Page： 49-51  Publication year： Jan. 03, 2000 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： porous medium ,...
Semi thesaurus term： *anodic oxidation

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JST classification (2)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (4)： けい素 ,  陽極処理 ,  アルミニウム ,  自己秩序化