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J-GLOBAL ID：200902194109376656   Reference number：00A0154894

Measurements of Piezoelectric Coefficient of Pb(Zr,Ti)O₃ Thin Film Using a Piezoelectric Microcantilever.

圧電ミクロカンチレバを用いたPb(Zr,Ti)O₃薄膜の圧電定数測定

Author (3)： CHU J (AIST, MITI, Ibaraki) ,  WANG Z (AIST, MITI, Ibaraki) ,  MAEDA R (AIST, MITI, Ibaraki)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters & Express Letters)
Volume： 38  Issue： 12A  Page： L1482-L1484  Publication year： Dec. 01, 1999 
JST Material Number： F0599B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： ferroelectrics ,...
Semi thesaurus term： *PZT

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JST classification (2)： Measuring techniques and equipments of dielectric properties  (BM05020Q) ,  Piezoelectric devices  (NC03110I)

Reference (15)：

• 1) S. Akamaine, T. R. Albrecht, M. J. Zdeblick and C. F. Quate: Sens. & Actuators A 21-23 (1990) 964.
• 2) R. M. Moroney, R. M. White and R. T. Howe: Proc. IEEE Ultrasonic Symp., Montreal, 1989, p. 745.
• 3) Z. Yang, H. Matsumoto and T. Yada: Micro Total Analysis System '98 (Kluwer Academic Publishers, 1998) p. 177.
• 4) R. Maeda, Z. Wang, J. Chu, J. Akedo, M. Ichiki and S. Yonekubo: Jpn. J. Appl. Phys. 37 (1998) 7116.
• 5) K. Uchino: Piezoelectric Actuators & Ultrasonic Motors (Kluwer Academic Publishers, 1997) p. 91.

Terms in the title (8)： 圧電 ,  カンチレバ ,  Pb ,  Zr ,  Ti ,  O3 ,  薄膜 ,  圧電定数