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J-GLOBAL ID：200902194972846792   Reference number：99A1024019

Electrical Properties of Direct Deposited Piezoelectric Thick Film Formed by Gas Deposition Method. Annealing Effect of the Deposited Films.

ガス蒸着法によって形成された直接蒸着圧電厚膜の電気特性 蒸着膜の焼鈍効果

Author (5)： AKEDO J (A.I.S.T., M.I.T.I., Ibaraki, JPN) ,  MINAMI N (A.I.S.T., M.I.T.I., Ibaraki, JPN) ,  FUKUDA K (Honda Engineering Co. Ltd., Saitama, JPN) ,  ICHIKI M (A.I.S.T., M.I.T.I., Ibaraki, JPN) ,  MAEDA R (A.I.S.T., M.I.T.I., Ibaraki, JPN)
Material： Ferroelectrics
Volume： 231  Issue： 1/4  Page： 873-880  Publication year： Jun. 1999 
JST Material Number： D0777A  ISSN： 0015-0193  CODEN： FEROA8  Document type： Article
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (7)： ガス蒸着 ,  蒸着 ,  圧電 ,  厚膜 ,  電気特性 ,  蒸着膜 ,  焼鈍