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J-GLOBAL ID：200902195681827428   Reference number：97A0252195

High-resolution MOS magnetic sensor with thin oxide in standard submicron CMOS process.

通常のサブミクロンプロセスで作製した薄い酸化層をもつ高分解能MOS磁場センサ

Author (5)： YANG H-M (National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN) ,  HUANG Y-C (National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN) ,  LEI T-F (National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN) ,  LEE C-L (National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN) ,  CHAO S-C (National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN)
Material： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sens Actuators A)
Volume： 57  Issue： 1  Page： 9-13  Publication year： Oct. 1996 
JST Material Number： B0345C  ISSN： 0924-4247  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： sensor ,...

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JST classification (1)： Measuring methods and instruments of magnetism  (AD07060U)

Terms in the title (5)： 作製 ,  酸化層 ,  高分解能 ,  MOS ,  磁場センサ