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J-GLOBAL ID：200902196063941437   Reference number：99A0752999

A Study on Linear Motion Stage Using Water-hydrostatic Bearing.

水作動液静圧軸受を用いた直動ステージの研究

Author (3)： KUSUI NAOKI (沼津工高専) ,  HAYAMA SADAJI (東芝機械) ,  YOSHIKAWA MASANORI (東京工大 大学院)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 65  Issue： 8  Page： 1153-1157  Publication year： Aug. 05, 1999 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *NC machine tool ,...

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JST classification (1)： Machine tool elements,jigs,chucks  (QC01020Z)

Reference (5)：

• 三宅正二郎. クリーン環境用軸受. 精密工学会誌. 1991, 57, 4, 599
• 吉本成香. 水潤滑静圧スラスト軸受に関する研究. 1994年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 1994, L21, 407
• UENO, S. High Precision CNC Three Axis Controlled Grinding Machine using Water Based Grinding Fluid Hydrostatic Guide Way. Proc. 8th IPES, Compiegne, France. 1995, 394
• SLOCUM, A. H. Design of Self-compensated, Water Hydrostatic Bearings. Prec. Eng. 1995, 17, 3, 173
• 楠井直樹. 水作動液を用いた静圧軸受の基礎的研究. 精密工学会誌. 1998, 64, 6, 851

Terms in the title (6)： 水 ,  作動液 ,  静圧軸受 ,  直動 ,  ステージ ,  研究