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J-GLOBAL ID：200902196285194150   Reference number：95A0672666

Ion Beam Assisted Sputter Deposition of CeO₂ Buffer Layers for Superconducting Multichip Module(MCM) Applications.

超伝導マルチチップモジュール(MCM)用途の,CeO₂バッファ層のイオンビームアシストによるスパッタ蒸着

Author (3)： FLORENCE G (Univ. Arkansas, AR) ,  ANG S (Univ. Arkansas, AR) ,  BROWN W D (Univ. Arkansas, AR)
Material： Proceedings of the Symposium on Low Temperature Electronics and High Temperature Superconductivity, 1995  (Proc Symp Low Temp Electron High Temp Supercond 1995)
Page： 113-120  Publication year： 1995 
JST Material Number： K19950336  ISBN： 1-56677-103-X  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： cerium oxide ,...
Semi thesaurus term： YBCO

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JST classification (2)： Superconducting materials  (BM04041W) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (6)： 伝導 ,  マルチチップモジュール ,  MCM ,  用途 ,  バッファ層 ,  スパッタ蒸着