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J-GLOBAL ID：200902201129005898   Reference number：06A0305863

Fabrication, modeling and integration of a silicon technology force sensor in a piezoelectric micro-manipulator

圧電マイクロマニプレータにおけるシリコンテクノロジー力センサの製作,モデリングおよび集積化

Author (5)： PEREZ Ricardo (Lab. d’Automatique de Besancon-LAB, UMR CNRS 6596-ENSMM/UFC, 25 Rue Alain Savary, 25000 Besancon, FRA) ,  CHAILLET Nicolas (Lab. d’Automatique de Besancon-LAB, UMR CNRS 6596-ENSMM/UFC, 25 Rue Alain Savary, 25000 Besancon, FRA) ,  DOMANSKI Krzysztof (Inst. of Electron Technology-ITE, Al. Lotnikow 32/46, 02-668 Warszawa, POL) ,  JANUS Pawel (Inst. of Electron Technology-ITE, Al. Lotnikow 32/46, 02-668 Warszawa, POL) ,  GRABIEC Piotr (Inst. of Electron Technology-ITE, Al. Lotnikow 32/46, 02-668 Warszawa, POL)
Material： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sens Actuators A)
Volume： 128  Issue： 2  Page： 367-375  Publication year： Apr. 19, 2006 
JST Material Number： B0345C  ISSN： 0924-4247  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： microactuator ,...
Semi thesaurus term： tactile sensor

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JST classification (2)： Design,manufacturing,and components of robots  (IC04013A) ,  Semiconductor integrated circuit  (NC03162T)

Terms in the title (6)： 圧電 ,  マイクロマニプレータ ,  力センサ ,  製作 ,  モデリング ,  集積化