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J-GLOBAL ID：200902201177855259   Reference number：07A0419695

圧電駆動型RF-MEMS可変キャパシタの電気特性

Author (5)： NISHIGAKI MICHIHIKO (東芝 研開セ) ,  NAGANO TOSHIHIKO (東芝 研開セ) ,  ABE KAZUHIDE (東芝 研開セ) ,  ITAYA KAZUHIKO (東芝 研開セ) ,  KAWAKUBO TAKASHI (東芝リサーチ・コンサルティング)
Material： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
Volume： 127  Issue： 5  Page： 297-302  Publication year： May. 01, 2007 
JST Material Number： L3098A  ISSN： 1341-8939  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *variable condenser ,...

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JST classification (2)： LCR parts  (NA05030D) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (12)：

• FUKUDA, A. A 900/1500/2000-mhz triple-band reconfigurable power amplifier employing RF-MEMs switches. IEEE MTT-S Digest, Long Beach, CA (2005-6). 2005, 657-660
• GOLDSMITH, C. L. Performance of Low-Loss RF MEMS Capacitive Switches. IEEE Microwave Guided Wave Lett. 1998, 8, 269-271
• RIJKS, Th G. S. M. Microelectromechanical tunable capacitors for reconfigurable RF architectures. J. Micromech. Microeng. 2006, 16, 601-611
• CLARK, T. RF MEMS in wireless architectures. Proc. ACM/IEEE Design Automation Conference, San Diego, CA (2005-6). 2005, 416-420
• KAWAKUBO, T. Piezoelectric RF MEMS Tunable Capacitor with 3V Operation Using CMOS Compatible Materials and Process. Proc. IEEE IEDM, Washington (2005-12). 2005, 303-306

Terms in the title (5)： 圧電駆動 ,  RF ,  MEMS ,  可変キャパシタ ,  電気特性