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J-GLOBAL ID：200902202287579881   Reference number：08A1115541

Real-Time Changing-OPD Measurement Technique Applicable to a Scanning White-Light Interference Microscope

走査型白色干渉顕微鏡に内蔵可能な光路差変化量のリアルタイム測定法

Author (3)： ADACHI MASAAKI (金沢大 理工学域) ,  FUJIMOTO KENTA (パイオニア) ,  HIRANO YUKI (ジーシー)
Material： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
Volume： 74  Issue： 11  Page： 1215-1219  Publication year： Nov. 05, 2008 
JST Material Number： F0268B  ISSN： 1348-8716  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *3-D measurement ,  *shape measurement ,  *micro structure ,  contactless measurement ,  measurement accuracy ,  *interference microscope ,  nanostructure ,  *real time processing ,  FPGA ,  CCD camera ,  oscillation ,  measurement error ,  optical path difference

JST classification (2)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (9)：

• Laser-Tec. リアルカラーコンフォーカル顕微鏡「OPTELICS-C130」
• SHIMADZU. 走査型共焦点レーザ顕微鏡「OLS1100」
• LARKIN, Kieran G. Efficient nonlinear algorithm for envelope detection in white light interferometry. J. Opt. Soc. Am. A. 1996, 13, 4, 832
• 石原満宏. 非走査マルチヒビーム共焦点撮像系による高速三次元計測. 精密工学会誌. 1998, 64, 7, 1022
• HARASAKI, A. Improved vertical-scanning inter-ferometry. Appl. Opt. 2000, 39, 13, 2107

Terms in the title (7)： 走査型 ,  白色 ,  干渉顕微鏡 ,  光路差 ,  変化量 ,  リアルタイム ,  測定法