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J-GLOBAL ID：200902202356492440   Reference number：07A1203304

One-Side-Electrode-Type Fluid-Based Inclinometer Combined with Complementary Metal Oxide Semiconductor Circuitry

補完金属酸化物半導体回路と結合した片側電極型流体傾斜計

Author (3)： ABD MANAF Asrulnizam Bin (Keio Univ., Kanagawa, JPN) ,  NAKAMURA Kazumasa (Keio Univ., Kanagawa, JPN) ,  MATSUMOTO Yoshinori (Keio Univ., Kanagawa, JPN)
Material： Sensors and Materials  (Sens Mater)
Volume： 19  Issue： 7  Page： 417-434  Publication year： 2007 
JST Material Number： L0338A  ISSN： 0914-4935  CODEN： SENMER  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *inclinometer ,...
Semi thesaurus term： SU-8

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JST classification (3)： Semiconductor integrated circuit  (NC03162T) ,  Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Substance index (1)： Carbonic acid propylene

Reference (8)：

• D. Benz, T. Botzelman, H. Kuck and D. Warkentin: Sens. Actuators A 18(2005) 123.
• S. Billat, H. Glosch, M. Kunze, F. Hedrich, J. F. Reeh, J. Auber and W. Lang: Proc. MEMS Conf., 2001(2001) p.159.
• R. A. Yotter, R. R. Baxter, S. Ohno, S. D. Hawley and D. M. Wilson: Transducer, 2003(2003) p.1279.
• H. Ueda, H. Ueda, K. Itoigawa, T. Hattori: Proc. 22nd Sensor Symp.(2005) p.207.
• M. Tsugai, Y. Hirata, T. Araki, M. Kimata: IEEJ Trans. 123(2003) 357.

Terms in the title (4)： 補完 ,  金属酸化物半導体 ,  流体 ,  傾斜計