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J-GLOBAL ID：200902205163496170   Reference number：03A0479753

Fabrication of Langevin Vibrator Using the Sputtered ZnO Thin Films Processed by a DC Bias in a Warm Atmosphere

温雰囲気中でDCバイアス処理をしたZnOスパッタ薄膜によるLangevin振動子の作製

Author (3)： SAIGA N (Yonago National Coll. of Technol., Tottori, JPN) ,  YAMAMOTO H (Yonago National Coll. of Technol., Tottori, JPN) ,  MORITSUGU J (Yonago National Coll. of Technol., Tottori, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 42  Issue： 5B  Page： 3130-3131  Publication year： May. 30, 2003 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： piezoelectrics ,...
Semi thesaurus term： ポーリング【分極】 ,...

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JST classification (2)： Metal-insulator-metal structures  (BM03087F) ,  Piezoelectric devices  (NC03110I)

Reference (10)：

• 1) H. Yamamoto, N. Saiga and K. Nishimori: Appl. Surf. Sci. 169–170 (2001) 517.
• 2) H. Yamamoto, N. Saiga and K. Nishimori: IEE J. 122-E (2002) 285.
• 3) Y. Nakagawa and T. Igasaki: Jpn. J. Appl. Phys. 41 (2002) 3285.
• 4) S. Hyuck. Bac, Sang, Yeol. Lee, Hyun, Y. Kim and S. Im: Appl. Surf. Sci. 168 (2002) 332.
• 5) G. D. Mahan: J. Appl. Phys. 54 (1983) 3825.

Terms in the title (8)： 雰囲気 ,  DC ,  バイアス ,  ZnO ,  スパッタ ,  薄膜 ,  振動子 ,  作製