Art

J-GLOBAL ID：200902206142756527   Reference number：06A0878000

Micro/nano-Hot Embossing of Quartz Glass Materials with Glassy Carbon Mold Prepared by Focused Ion Beam

FIB加工によるカーボン型を用いた石英ガラスのマイクロ・ナノ成形

Author (3)： TAKAHASHI MASAHARU (産業技術総合研) ,  MAEDA RYUTARO (産業技術総合研) ,  SUGIMOTO KOICHI (信州大 工)
Material： 塑性と加工  (Journal of the Japan Society for Technology of Plasticity)
Volume： 47  Issue： 549  Page： 958-962  Publication year： Oct. 25, 2006 
JST Material Number： G0076A  ISSN： 0038-1586  CODEN： SOKAB  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *glass forming ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=06A0878000&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0076A") }}

JST classification (1)： Manufacturing of glass  (YC02020O)

Reference (11)：

• LI, X. Proc. MEMS 2001, Interlaken. 2001, 98
• SHAN, X. C. Proc. SPIE. 2002, 4936, 67
• WENSINK, H. MEMS2000, Miyazaki. 2000, 769-774
• NAKAI, A. MEMS2002, Las Vegas. 2002, 524-527
• BECKER, H. Mol. Biotechnol. 2001, 82, 89

Terms in the title (4)： FIB ,  カーボン ,  石英ガラス ,  マイクロ