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J-GLOBAL ID：200902206675954908   Reference number：05A0532868

Micromachined Thermoelectric Hydrogen Sensor of Double-Membrane Structure

マイクロマシニングにより作製された二重膜構造の熱電気水素センサ

Author (6)： TAJIMA Kazuki (AIST, Nagoya, JPN) ,  CHOI Yeongsoo (AIST, Nagoya, JPN) ,  SHIN Woosuck (AIST, Nagoya, JPN) ,  IZU Noriya (AIST, Nagoya, JPN) ,  MATSUBARA Ichiro (AIST, Nagoya, JPN) ,  MURAYAMA Norimitsu (AIST, Nagoya, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters & Express Letters)
Volume： 44  Issue： 12-15  Page： L367-L370  Publication year： Apr. 10, 2005 
JST Material Number： F0599B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *micromachining ,...

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JST classification (1)： Analytical instruments  (CC02020S)

Reference (11)：

• 1) A. Katsuki and K. Fukui: Sens. & Actuators B <B>52</B> (1998) 30.
• 2) I. Lundstrom, S. Shivaraman, C. Svensson and L. Lundkvist: Appl. Phys. Lett. 26 (1975) 55.
• 3) M. A. Butler: Appl. Phys. Lett. 45 (1984) 1007.
• 4) C. Christofides and A. Mandelis: J. Appl. Phys. 68 (1990) R1.
• 5) W. Shin, K. Imai, N. Izu and N. Murayama: Jpn. J. Appl. Phys. 40 (2001) L1232.

Terms in the title (4)： マイクロマシニング ,  作製 ,  熱電気 ,  水素センサ