Art

J-GLOBAL ID：200902208024014250   Reference number：06A0369941

Microstructural and mechanical investigations of tungsten carbide films deposited by reactive RF sputtering

反応RFスパッタリングで析出した炭化タングステン膜のミクロ組織的および力学的研究

Author (7)： ABDELOUAHDI K. (Lab. d′Etude des Milieux Nanometriques, Batiment Maupertuis 1, rue du Pere Jarlan, 91025 Evry cedex, FRA) ,  SANT C. (Lab. d′Etude des Milieux Nanometriques, Batiment Maupertuis 1, rue du Pere Jarlan, 91025 Evry cedex, FRA) ,  LEGRAND-BUSCEMA C. (Lab. d′Etude des Milieux Nanometriques, Batiment Maupertuis 1, rue du Pere Jarlan, 91025 Evry cedex, FRA) ,  AUBERT P. (Lab. d′Etude des Milieux Nanometriques, Batiment Maupertuis 1, rue du Pere Jarlan, 91025 Evry cedex, FRA) ,  PERRIERE J. (Inst. des NanoSciences de Paris, Univ. Paris VI, Campus Boucicaut,140 rue de Lourmel, 75015 Paris, FRA) ,  RENOU G. (Lab. d′Etude des Milieux Nanometriques, Batiment Maupertuis 1, rue du Pere Jarlan, 91025 Evry cedex, FRA) ,  HOUDY Ph. (Lab. d′Etude des Milieux Nanometriques, Batiment Maupertuis 1, rue du Pere Jarlan, 91025 Evry cedex, FRA)
Material： Surface & Coatings Technology  (Surf Coat Technol)
Volume： 200  Issue： 22-23  Page： 6469-6473  Publication year： Jun. 20, 2006 
JST Material Number： D0205C  ISSN： 0257-8972  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： reactive sputtering ,...

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JST classification (1)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Substance index (1)： Methane

Terms in the title (6)： RFスパッタリング ,  析出 ,  炭化タングステン ,  ミクロ組織 ,  力学 ,  研究