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J-GLOBAL ID：200902210312457101   Reference number：04A0649697

Science and Technology of High Dielectric Constant Thin Films and Materials Integration for Application to High Frequency Devices

高周波素子用途の高誘電率薄膜や材料集積法の科学と技術

Author (8)： AUCIELLO O (Argonne National Lab., IL, USA) ,  SAHA S (Argonne National Lab., IL, USA) ,  KAUFMAN D Y (Argonne National Lab., IL, USA) ,  STREIFFER S K (Argonne National Lab., IL, USA) ,  FAN W (Argonne National Lab., IL, USA) ,  KABIUS B (Argonne National Lab., IL, USA) ,  IM J (Argonne National Lab., IL, USA) ,  BAUMANN P (Argonne National Lab., IL, USA)
Material： Journal of Electroceramics  (J Electroceramics)
Volume： 12  Issue： 1/2  Page： 119-131  Publication year： Jan. 2004 
JST Material Number： W1123A  ISSN： 1385-3449  CODEN： JOELFJ  Document type： Article
Article type： 文献レビュー  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： dielectric thin film ,...
Semi thesaurus term： organic metal chemistry gaseous phase growth method

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JST classification (2)： Dielectrics in general  (BM05010F) ,  Ceramic coating to nonmetallic materials  (YC02040K)

Terms in the title (5)： 高周波 ,  用途 ,  高誘電率薄膜 ,  集積 ,  科学