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J-GLOBAL ID：200902210631547822   Reference number：05A0808039

Properties of DLC thin films produced by RF PE-CVD from pyrrole monomer

ピロールモノマからRF PE-CVDで製作したDLC薄膜の性質

Author (4)： TAKAI O. (EcoTopia Sci. Inst., Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa, Nagoya 464-8603, JPN) ,  ANITA V. (EcoTopia Sci. Inst., Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa, Nagoya 464-8603, JPN) ,  ANITA V. (“AL.I.Cuza” Univ., Dep. of Plasma Physics, Iasi-6600, ROM) ,  SAITO N. (Dep. of Molecular Design and Engineering, Graduate School of Engineering, Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa, Nagoya ...)
Material： Surface & Coatings Technology  (Surf Coat Technol)
Volume： 200  Issue： 1-4  Page： 1106-1109  Publication year： Oct. 01, 2005 
JST Material Number： D0205C  ISSN： 0257-8972  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *DLC film ,...

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JST classification (2)： Carbon and its compounds  (YB02060D) ,  Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Substance index (1)： Pyrrole

Terms in the title (6)： RF ,  PE ,  CVD ,  製作 ,  DLC薄膜 ,  性質