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J-GLOBAL ID：200902210632762034   Reference number：08A0466567

Measurement of Internal Stress Distribution with Depth in Al/Mo and Cu/Mo Bilayer Films Using a GIXS Method

GIXS法によるAl/MoおよびCu/Mo二層膜の断面内部応力分布測定

Author (2)： ASAHI YASUHIRO (法政大学工学部システム制御工学科) ,  TAKAYAMA SHINJI (法政大学工学部システム制御工学科)
Material： 日本金属学会誌  (Journal of the Japan Institute of Metals and Materials)
Volume： 72  Issue： 5  Page： 323-330 (J-STAGE)  Publication year： 2008 
JST Material Number： G0023A  ISSN： 0021-4876  CODEN： NIKGAV  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *multilayer interconnection ,  Aluminum ,  Molybdenum ,  Copper ,  multilayer ,  *internal stress ,  stress distribution ,  *X-ray stress measurement ,  grazing incidence ,  magnetron sputtering ,  depth distribution ,  stress relaxation ,  heat treatment ,  gradient ,  angle of incidence ,  angular dependence ,  temperature dependence ,  bilayer structure ,  stress gradient

JST classification (2)： Metallic materials  (HC02020X) ,  Materials of solid-state devices  (NC03020K)

Reference (13)：

• 1) I. K. Schuller and A. Rahman: Phys. Rev. Lett. 50(1983) 1377-1379.
• 2) B. M. Clemens and G. L. Eesley: Phys. Rev. Lett. 61(1988) 2356-2359.
• 3) W. D. Nix: Met. Trans. A. 20A(1989) 2217-2245.
• 4) B. M. Clemens, J. A. Bain, A. P. Payne, T. C. Hufnacel and S. M. Brennan: Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 239(1991) 476-487.
• 5) S. Sato, M. Saito, E. Matsubara, Y. Waseda and K. Inomata: Mat. Trans. JIM 39(1998) 557-561.

Terms in the title (6)： Al ,  Mo ,  Cu ,  二層膜 ,  内部応力 ,  分布