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J-GLOBAL ID：200902212367623062   Reference number：04A0750657

Aerosol Deposition and Its Application

「マイクロ・ナノ加工技術の最前線」エアロゾルデポジション法とその応用

Author (1)： AKEDO JUN (産業技術総合研 先進製造プロセス研究部門)
Material： 表面科学  (JSSSJ)
Volume： 25  Issue： 10  Page： 635-641  Publication year： Oct. 10, 2004 
JST Material Number： F0940B  ISSN： 0388-5321  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *alumina ,...
Semi thesaurus term： *PZT ,...

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JST classification (3)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Other noncatalytic reactions  (CB06070U)

Reference (18)：

• 1) 明渡 純,M. Lebedev:まてりあ 41, 459 (2002).
• 2) 明渡 純,清原正勝:粉体工学会誌 40, 192 (2003).
• 3) 清原正勝,辻道万也,森 勝彦,鳩野広典,右田実雄,楠木孝章,南 典明,M. Lebedev,明渡 純:第15回日本セラミックス協会秋季シンポジウム講演予稿集 (2002) p. 228.
• 4) J. Akedo and M. Lebedev: Jpn. J. Appl. Phys. 40, 5528 (2001).
• 5) M. Lebedev,明渡 純:電気学会誌E部門 120-E, 12, 600 (2000).

Terms in the title (3)： ナノ加工技術 ,  エアロゾルデポジション法 ,  応用