Art

J-GLOBAL ID：200902213129948073   Reference number：05A0305893

Formation of Conical Carbides on the Surface of Stainless and Alloy Steels by Sputter-Etching

ステンレス鋼および合金鋼のスパッタエッチングによる円錐状表面炭化物の生成

Author (4)： ZHANG Qinglian (広島大 大学院工学研究科) ,  WANG Rongguang (広島大 大学院工学研究科) ,  KATO MASAHIKO (広島大 大学院工学研究科) ,  NAKASA KEIJIRO (広島大 大学院工学研究科)
Material： 日本金属学会誌  (Journal of the Japan Institute of Metals and Materials)
Volume： 69  Issue： 3  Page： 312-319  Publication year： Mar. 20, 2005 
JST Material Number： G0023A  ISSN： 0021-4876  CODEN： NIKGAV  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： surface treatment ,...
Semi thesaurus term： sputter etching ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=05A0305893&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0023A") }}

JST classification (1)： Other surface treatment  (WC08070F)

Reference (10)：

• 1) H. H. Andersen, B. Stenum, T. Sorensen and H. J. Whitlow: Nucl. Instrum. Methods 209/210(1983) 487-494.
• 2) J. Kirschner: Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B7/8(1985) 742-749.
• 3) L. E. Rehn, N. Q. Lam and H. Wiedersich: Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B7/8(1985) 764-767.
• 4) T. J . Whetten and A. L. Ruoff: Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B7/8(1985) 836-839.
• 5) R. Wang, M. Kato and K. Nakasa: J. Japan Inst. Metals 63(1999) 1015-1021.

Terms in the title (5)： ステンレス鋼 ,  合金鋼 ,  スパッタエッチング ,  円錐 ,  炭化物