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J-GLOBAL ID：200902213422659647   Reference number：03A0394446

Time- and space-resolved electric potentials in a parallel-plate radio-frequency plasma

平行平板高周波プラズマにおける時間および空間分解電位

Author (4)： TEII K (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  MIZUMURA M (Musashi Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  MATSUMURA S (Musashi Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  TEII S (Musashi Inst. Technol., Tokyo, JPN)
Material： Journal of Applied Physics  (Journal of General Physics and its Application to Other Sciences and to Industry)
Volume： 93  Issue： 10,Pt.1  Page： 5888-5892  Publication year： May. 15, 2003 
JST Material Number： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *electric potential ,...

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JST classification (1)： Plasma diagnostics  (BJ02090L)

Terms in the title (3)： 平行平板 ,  高周波プラズマ ,  分解電位