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J-GLOBAL ID：200902216774855925   Reference number：09A1281038

Correction of highe order geometrical aberration by triple 3-fold astigmatism field

三重の3倍の乱視分野での高度の幾何学的収差の補正

Author (16)： SAWADA Hidetaka (JST-CREST, Tokyo) ,  SAWADA Hidetaka (JEOL Ltd, Tokyo) ,  SASAKI Takeo (JST-CREST, Tokyo) ,  SASAKI Takeo (JEOL Ltd, Tokyo) ,  HOSOKAWA Fumio (JEOL Ltd, Tokyo) ,  YUASA Shuuichi (JEOL Ltd, Tokyo) ,  TERAO Mitsuhisa (JEOL Ltd, Tokyo) ,  KAWAZOE Muneyuki (JEOL Ltd, Tokyo) ,  NAKAMICHI Tomohiro (JEOL Ltd, Tokyo) ,  KANEYAMA Toshikatsu (JST-CREST, Tokyo) ,  KANEYAMA Toshikatsu (JEOL Ltd, Tokyo) ,  KONDO Yukihito (JEOL Ltd, Tokyo) ,  KIMOTO Koji (JST-CREST, Tokyo) ,  KIMOTO Koji (National Inst. Materials Sci., Ibaraki) ,  SUENAGA Kazutomo (JST-CREST, Tokyo) ,  SUENAGA Kazutomo (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol.(AIST), Tsukuba, JPN)
Material： Journal of Electron Microscopy  (J Electron Microsc)
Volume： 58  Issue： 6  Page： 341-347  Publication year： Dec. 2009 
JST Material Number： W1384A  ISSN： 0022-0744  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *astigmatism (disease) ,  *correction (compensation) ,  *optical system ,  theory ,  principle ,  scanning electron microscope ,  *spherical aberration ,  azimuth angle ,  aberration ,  theoretical calculation

JST classification (1)： Electron and ion microscopes  (BD02050B)

Terms in the title (5)： 三重 ,  乱視 ,  高度 ,  幾何学 ,  収差