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J-GLOBAL ID：200902219298964418   Reference number：05A0043734

Residual Stress Measurement in DLC films prepared by Plasma-based Ion Implantation and Deposition (PBIID) Method

プラズマイオン注入・成膜(PBIID)法によって作製したDLC膜の残留応力測定

Author (5)： MIKI YASUHIRO (奈良県工技セ) ,  ADACHI SHIGEHIRO (奈良県工技セ) ,  NISHIMURA YOSHIMI (栗田製作所) ,  SUGIHARA MASAHIKO (栗田製作所) ,  HORINO YUJI (産業技術総合研)
Material： X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集  (Proceedings of the Symposium on X-Ray Studies on Mechanical Behaviour of Materials)
Volume： 39th  Page： 190-195  Publication year： 2004 
JST Material Number： F0605B  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： Raman spectrum ,...

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JST classification (2)： Ceramic materials  (HC02040T) ,  Carbon and its compounds  (YB02060D)

Terms in the title (7)： プラズマイオン注入 ,  成膜 ,  法 ,  作製 ,  DLC膜 ,  残留 ,  応力測定