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J-GLOBAL ID：200902220201734454   Reference number：05A1019115

Development of Silicon Micro Multi-edged Tool Using Anisotropic Etching (1st Report)-Construction of Design System for Fabricating the Silicon Micro Multi-edged Tool-

異方性エッチングによるシリコンマイクロ多刃工具の開発(第1報)-工具の作製設計システムの構築-

Author (5)： YAMAGUCHI TOMOMI (関西大 工) ,  HIGUCHI MASAHIRO (関西大 工) ,  SHIMADA SHOICHI (大阪電通大 工) ,  KATO SHIN'YA (関西大 大学院) ,  ASAI KUNIHIKO (関西大 大学院)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 70  Issue： 9  Page： 1196-1200  Publication year： Sep. 05, 2004 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *micromachine ,...
Semi thesaurus term： マイクロ工作機械 ,...

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JST classification (1)： Cutting in general  (QC02010V)

Reference (16)：

• 産業技術総合研 機械システム研究部門. ポータブル機械加工マイクロファクトリ. マイクロファブリケーション研究の最新動向. 2003, 12, 32
• 森田昇. 「加工機械」と「機械加工」のマイクロ化技術. 電気加工学会誌. 2003, 37, 85, 5
• 北原時雄. 専門委員会・分科会研究レビュー 加工機械のマイクロ化分科会 実用化が進むマイクロ工作機械. 精密工学会誌. 2003, 69, 8, 1074
• GAHLIN, R. The particle size effect in abrasion studied by controlled abrasive surfaces. Wear. 1999, 224, 118
• 梅原徳次. 均一に配列させたマイクロ多刃工具による仕上げ加工の可能性-異方性エッチングによるマイクロ多刃工具からMAGIC砥石へ-. 砥粒加工学会誌. 2001, 45, 6, 283

Terms in the title (9)： 異方性エッチング ,  シリコン ,  マイクロ ,  多刃工具 ,  開発 ,  工具 ,  作製 ,  設計システム ,  構築