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J-GLOBAL ID：200902221527654864   Reference number：09A1005784

SPring-8におけるX線ミラーのための表面形状計測装置LTP(Long trace profiler)の開発

Author (10)： KISHIMOTO HIKARU (高輝度光科学研究セ) ,  SEMBA YASUNORI (高輝度光科学研究セ) ,  YUMOTO HIROKATSU (高輝度光科学研究セ) ,  OHASHI HARUHIKO (高輝度光科学研究セ) ,  OHASHI HARUHIKO (理研) ,  GOTO SHUNJI (高輝度光科学研究セ) ,  GOTO SHUNJI (理研) ,  YAMAUCHI KAZUTO (大阪大) ,  ISHIKAWA TETSUYA (高輝度光科学研究セ) ,  ISHIKAWA TETSUYA (理研)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 2009  Issue： 秋季(CD-ROM)  Page： ROMBUNNO.C04  Publication year： Aug. 25, 2009 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *shape measurement ,  *morphology(form) ,  *reflecting mirror ,  measuring instrument
Semi thesaurus term： LTP ,  *X-ray mirror ,  measurement device ,  *surface shape

JST classification (1)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O)

Terms in the title (5)： SPring-8 ,  X線ミラー ,  形状計測装置 ,  LTP ,  開発