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J-GLOBAL ID：200902222164908989   Reference number：04A0448000

Low-Birefringence Thermally and Environmentally Stable Slab Waveguide Planarized by Hot Embossing

熱エンボシングでプレーナ化した熱的および環境的に安定な低複屈折スラブ導波路

Author (3)： HASUI K (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  TOMIKI M (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  OKAMOTO N (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 43  Issue： 4B  Page： 2341-2345  Publication year： Apr. 30, 2004 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *optical waveguide ,...

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JST classification (2)： Optical waveguide,optical fibers,and fiber optics  (BD06030H) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Substance index (1)： Octamethylsilsesquioxane

Reference (26)：

• 1) L. Eldada and L. W. Shacklette: IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 6 (2000) 54.
• 2) T. Koregana, H. Asakura and M. Umetani: Proc. Int. Plastic Optical Fiber Conf. 1999 (1999) p. 153.
• 3) P. M. Pern and L. W. Shaklette: Proc. SPIE 4106 (2000) 1.
• 4) J.-S. Kim, J.-W. Kang and J.-J. Kim: Jpn. J. Appl. Phys. 42 (2003) 1277.
• 5) T. Shioda: Jpn. J. Appl. Phys. 41 (2002) L1126.

Terms in the title (5)： エンボシング ,  プレーナ ,  環境 ,  低複屈折 ,  スラブ導波路