Art

J-GLOBAL ID：200902118278553194   Reference number：03A0019637

Replication of fluorinated Polyimide Film Using Quartz Glass Mold.

クォーツガラスモールドを用いたふっ素化ポリイミド膜の転写法

Author (1)： SHIODA T (Mitsui Chemicals, Inc., Chiba, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters & Express Letters)
Volume： 41  Issue： 10A  Page： L1126-L1129  Publication year： Oct. 01, 2002 
JST Material Number： F0599B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *polyimide ,...

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JST classification (3)： Other moldings  (YH04090Q) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Optical waveguide,optical fibers,and fiber optics  (BD06030H)

Reference (10)：

• 1) S. Lehmacher and A. Neyer: Electron. Lett. 36 (1997) 1052.
• 2) H.-D. Bauer, W. Ehrfeld, M. Harder, T. Paatzsch, M. Poopp and I. Smaglinski: Synth. Met. 115 (2000) 13.
• 3) T. Shioda: Jpn. J. Appl. Phys. 41 (2002) 1379.
• 4) J. Kobayashi, T. Matsuura, Y. Hida, S. Sasaki and T. Maruno: J. Lightwave Technol. 16 (1998) 1024.
• 5) J. Kobayashi, T. Matsuura, S. Sasaki and T. Maruno: Appl. Opt. 37 (1998) 1032.

Terms in the title (3)： ふっ素化 ,  ポリイミド膜 ,  転写