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J-GLOBAL ID：200902223198577856   Reference number：06A0605223

Development of Microplasma Source for Trace Elemental Analysis and Its Application to AES Measurement of Halogen

微量元素分析用マイクロプラズマ源の開発とハロゲン元素の発光分析

Author (5)： OBA GORO (東京工大 大学院総合理工学研究科) ,  MIYAHARA HIDEKAZU (東京工大 大学院総合理工学研究科) ,  WATANABE MASATO (東京工大 大学院総合理工学研究科) ,  HOTTA EIKI (東京工大 大学院総合理工学研究科) ,  OKINO AKITOSHI (東京工大 大学院総合理工学研究科)
Material： 分析化学
Volume： 55  Issue： 8  Page： 555-560  Publication year： Aug. 05, 2006 
JST Material Number： F0008A  ISSN： 0525-1931  CODEN： BNSKAK  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *plasma source ,...
Semi thesaurus term： ionization energy

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JST classification (2)： Spectroanalysis  (CC03012W) ,  Light sources  (BD07020D)

Reference (11)：

• 1) A. Montaser (ED.): "Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry", (1998), (Wiley-VCH, New York).
• 2) K. H. Schoenbach, M. Moselhy, W. Shi, Bentley: J. Vac. Sci. Technol., A 21, 1260 (2003).
• 3) R. H. Stark, K. H. Schoenbach: J. Appl. Phys., 65, 2075 (1999).
• 4) M. Miclea, K. Kunze, J. Franzke, K. Niemax: Spectrochim. Acta B, 57, 1585 (2002).
• 5) Robert C. Weast: "CRC handbook of chemistry and physics", (1989-1990), (CRC Press, Inc., Florida).

Terms in the title (5)： 微量元素分析 ,  マイクロプラズマ ,  開発 ,  ハロゲン元素 ,  発光分析